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        射頻電源

        直流電源

        匹配器

        遠程等離子

        備品

        RF CABLE

        AE NAVIGATOR 系列
        KYOSAN MBK / BJK / CMK / KMK 系列
        DAIHEN RMN / AMN 系列
        MKS/ENI
        NEW POWER PLASMA NPM 系列
        AKT FIXED / PRESET MATCH
        PLASMART
        AMAT P5000
        LAM OB1 (ONE BOX)
        MATTSON RFS 系列
        ASE 系列
        DAIHEN FRM&HRM 系列
        ULVAC 系列