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        射頻電源

        直流電源

        匹配器

        遠程等離子

        備品

        RF CABLE

        AE APEX 系列
        AE PARAMOUNT 系列
        AD-TEC AX/TX/TS 系列
        AE RFG 系列
        MKS/ENI SPECTURM 系列
        MKS/ENI GHW/GMW/NOVA 系列
        KYOSAN RFK/JFK/CFK/KFK 系列
        DAIHEN RGA 系列
        MKS/ENI SUREPOWER 系列
        NEW POWER PLASMA NPG 系列
        MKS/ENI EDGE 系列
        PEARL KOGYO RP 系列
        DAIHEN NX 系列
        DAIHEN FGA/RTGA/AGA 系列